在儀器安裝調試時或者光譜儀停機一段時間再啟動真空泵時，最好按以下幾個步驟進，保證真空系統安全工作。

第一步，將真空規SET POINT1和SET POINT 2設置到50Tor。

第二步，對光譜儀進行通電。

第三步，真空泵空抽5min，打開前置真空泵閥門。

第四步，真空泵開始抽真空，當真空度小于50Tom，泵應自動停止。

第五步，關閉前置真空泵閥。

第六步，接通裝分子篩的收集器內電阻加熱115VAC電源。目的是為了使收集器內分子篩(沸石)進行再生。當電阻絲接通電源，并且使真空泵運行時，另外打開真空泵側面排泄閥，加熱2h。

第七步，抽氣2h之后，設置SET POINT2到10Torr位置。斷開收集器加熱電阻絲供電。真空泵繼續抽，讓分子篩收集器冷卻到常溫，然后將真空泵側面排泄閥關緊，并使真空泵繼續抽20~30min，再打開真空泵閥門。當真空閥門被打開，真空度指針暫時可以向上，這種狀態是正常的。真空泵繼續運行，直到壓力指針到設置點10Tom，泵還將繼續運行80s之后，即會停止。通常，真空泵應保持4~5h左右。真空度黑指針上升超過真空度設置指針，真空泵又啟動，經805之后，真空度指針又下降到最低值，繼續保持4～5h，始終如此循環操作。